微型動態壓力傳感器

 

產品簡介:

微型壓力傳感器是專門為流體力學實驗要求非常小的安裝尺寸而設計的，它利用硅–硅鍵合MEMS 微機械加工技術使得集成硅膜片有效尺寸小，固有響應頻率高，彈性力學特性優良，穩定可靠，對流場影響小，精度高于壓電動態壓力傳感器，成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產品，各國軍標在爆轟動態、空氣動力學測量標準中都推薦首選本類壓力傳感器；可生產探針形、扁平薄餅形（1.5-4mm）；提供定制服務。

產品用途:

軍事工程、發動機進氣道、化爆試驗、風洞、材料、流體力學、聲學、土木工程學、巖土力學、
創傷醫學、石油勘采與試井、液壓動力機械試驗、縮模實驗等科學試驗與現代化儀器儀表中。

性能指標:

被測介質	對硅、不銹鋼、環氧樹脂膠不腐蝕的氣體和液體
壓力類型	絕對壓力、密封參考壓力、通氣表壓力
量程	-100kPa ～ 0 ～ 10kPa ～ 1MPa ～ 10MPa…100MPa 之間任意可選
供電電源	0.5-2.0mA 或 5-12VDC
輸出信號	100mV （典型值）
變送器輸出	供電： 24VDC （ ±15VDC ），輸出： 0-5VDC 、 4-20mA 可選
非線性	0.1% FS 、 0.2% FS 、 0.5% FS
重復性	0.05%FS
綜合精度	±0.2%FS 、 0.5%FS
長期穩定性	0.2%FS/ 年
工作溫度	-40 ～ 125℃ （高溫型加裝水冷式結構 , 耐高溫 500℃ ）
響應頻率	5kHz…50kHz…500kHz
輸入阻抗	5kΩ
絕緣電阻	＞ 500 MΩ/100VDC
安全過載壓力	200%FS （ 2 倍滿量程）
破壞壓力	500%FS （ 5 倍滿量程）
連接方式	M3 、 M4 、 M5 、 M6 、 M10 或指定
接液材料	硅、不銹鋼、氟橡膠
相對濕度	0 ～ 95% RH
外殼防護等級	IP65
出線方式	航插、 直接密封引線

選型信息:

型號：NZ-S111A…
微型傳感器，平膜片背面受壓結構，壓力響應速度更快，固有頻率500kHz，不影響流場；螺紋固定密封壓力，測量最高壓力10MPa，可用于水，氣體等的測量。

 

 

型號：NZ-S107A…
微型微壓傳感器，島膜結構，采用膜片內置方式，尺寸更小，有效保護膜片在運輸和安裝過程中的人為損壞，壓力響應速度快，不影響流場；螺紋固定密封壓力，測量最高3.5MPa 的壓力。

 

 

型號：NZ-S114A…
微型高壓傳感器，MEMS封裝，壓力響應速度快,固有頻率500kHz；螺紋固定密封壓力,可用于最高60MPa的液體、氣體壓力動靜態測量。

 

 

型號：NZ-S103；NZ-S206A…
超微型傳感器，硅硅鍵合技術，MEMS 封裝，壓力響應速度快，固有頻率200kHz；探針置入式安裝，主要為氣道、風道測量，創傷醫學、空氣動力學設計。

 

 

薄餅形壓力傳感器 型號請見下圖：
超薄型設計，硅硅鍵合技術，MEMS 封裝，壓力響應速度快，固有頻率200kHz；粘貼式式安裝，主要為氣道、風道測量，空氣動力學設計、土壓等設計。