測量原理、結構及應用范圍
是使用沉積在兩個導電電極上的聚胺鹽或醋酸纖維聚合物薄膜。當薄膜吸水或失水后，會改變兩個電極間的介電常數(shù)。目前還有一種技術是使用耐高溫的熱固性聚合物，可使得這類傳感器在高于 100 ℃ 的情況下進行連續(xù)測量。  

1.基體，一般為玻璃，主要作用是支撐傳感器的其它部分。
2.電極中的一個，由導電材料做成。
3.薄膜層。是傳感器的心臟，薄膜吸水的數(shù)量與周圍環(huán)境的相對濕度有關。這層膜的厚度一般為 1~10(µm) 。
4.上部電極，對于傳感器的性能同樣起著重要作用。為了得到快速響應，必須有較高的水的滲透性。同時也是導電性材料。
5.上部電極的接觸墊。由于對上部電極的設計有較多的限制條件，因此為了接觸良好，需加上一塊單獨的金屬。
其測量范圍較廣，從 -50 ℃ ~100 ℃ 露點。可用于較廣的溫度范圍內，有時不需要溫度補償。耐高溫的熱固性樹脂允許這類電容式濕度傳感器可以在溫度 185 ℃ 下進行連續(xù)測量，最高使用溫度取決于傳感器的包裝材料。對于熱固性樹脂的傳感器來說，其另一個優(yōu)點是在 -50 ℃ ~100 ℃ 溫度范圍內，溫度系數(shù)較小，因此可以很容易地在很寬的范圍內達到準確測量。
所有的相對濕度傳感器都對溫度敏感，假如在一個溫度下進行校準，在另外溫度下使用時會帶來誤差。聚合物傳感器的一個優(yōu)點就是它們對溫度的依賴性較小，即溫度系數(shù)較小。因此當使用溫度與校準溫度不同時，其誤差較小。如果在極限溫度下使用，或對準確度要求較高，則需進行電子溫度補償。當溫度跨度小于 50 ℃ 時，進行溫度補償較容易。當溫度范圍再寬時，進行溫度補償則有些困難。但是現(xiàn)代的聚合物傳感器可以在很窄的范圍內準確度達到 ±1%RH ，在很寬的溫度和濕度范圍內可以達到 ±3%RH 。使用一段時間后，或被污染后，需進行重新校準。
優(yōu)缺點
優(yōu)點：響應快，溫度及濕度測量范圍寬，線性好，幾乎沒有滯后，穩(wěn)定性及重復性較好，溫度系數(shù)低，成本低。
缺點：間接測量儀器，需定期校準，對某些污染物敏感，不能在腐蝕性的環(huán)境下工作；盡管很低，仍具有溫度依賴性。